欧洲的洁净室标准
-EN ISO 14644 - 4 里面详细的描述了洁净室洁净的标准和检测,德国schmidt流量传感器,专门依据此标准设计而成,也就是完全使用洁净的应用。
流量传感器在层流监测方面的应用
无论是在半导体行业还是在制药领域对洁净室的高
纯度和无毒要求在逐渐提高。为尽可能的减少维修和保
养工业环境的费用,所以不会要求整间房间的高纯度性。
这只包括在房间中专门划出一个小的区域,隔离,戴手套作业,或设置RABS (受限制的访问屏障系统).
所有这些洁净室的共同点是需要高纯度空间的生产过程往往只局限在一个很小的范围内,因此只需对此范围进行保护即可。典型的例子比如瓶装液体药物或特殊的半导体
生产等。和高纯度紧密关联的是层流。这可以被理解为测量空气的流动情况,空气的扰
流度应当极低流速也应该很小。所需被监测的重要参数之一就是层流层中空气的流速,
特别是在消毒封装过程中 (所谓的 A 区),持续的检测空气的流速是非常有必要的。
Schmidt SS20.415 作为市场上唯一层流传感器既可以监测空气层流流向,也可以监测
流速。优点还在于:测量精度高,长期稳定性能好,高抗腐蚀性,最小测量0.05m/s
起,安装简便等。
上一页:
2010年加速度传感器市场增速明显下一页:
测量流量的意义