Schmidt流量传感器在监控MOCVD沉积设备中的应用

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应用描述：

MOCVD沉积设备用来生产LED半导体元件，高功率晶体管，AIXTRON厂商的机器是模块组装，有四个步骤：混合并输送生产气体，电控和过程反应器。每一部分设备支配一个抽气端口schmidt ss20.200负责监控抽气过程，当有害气体未被有效输出时报警。

schmidt的任务：

监督抽气过程中用于避免工作室受有害气体的影响

schmidt的位置：

机器顶部排气管中

行业：

设备安装，半导体行业

schmidt的优势：

简单快速安装；测量与方向无关；结构紧凑；功能可靠；价格便宜。

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